AccureS

分光式薄さ計
薄膜の高精度測定を実現

分光式薄さ計

説明

分光干渉方式による薄さ測定器です。
反射光のスペクトラムと素材の屈折率から膜厚を相対的に測定します。
グリーンシートをはじめとする表面が平滑かつ透明な薄膜、塗膜の高精度測定に最適です。

測定対象

厚さ100μ以下の表面が平滑で透明な塗膜、及び基材

特徴

高精度

  • 測定部が幅方向にトラバースし、1mmピッチのデータを測定・表示します。

  • 解析方法はカーブフィッティング法とFFT(高速フーリエ変換)法の2パターンを使用でき、素材に合わせて最適な解析法を選択できます。

安全・安心

  • 放射線を使用した厚さ計ではないため、管理者や管理資格が不要です。

使いやすい操作性

  • オペレーション画面は累計出荷台数400台超のX線式厚さ計AccureXを踏襲しており、オペレータの方は操作を覚えなおす必要がありません。

  • 測定条件を1000品種登録できます。

  • 目的にあったグラフが表示できます。

多層測定に対応

  • 3層までの多層測定に対応しており、層毎の測定ができます。
    3層測定に対応した3画面で各層の測定結果を同時に表示できます。
    分光式薄さ計

軽量・コンパクト

  • 照射部と受光部が一体となった1軸駆動のため測定部のサイズが小さくコンパクトです。

仕様

電源 AC100V 2kVA
測定方式 分光干渉方式(反射型)
パスラインギャップ 10mm
測定スポット幅 φ1mm
測定速度 100mm/sec
測定ピッチ 1mm
測定可能な厚さの目安
※素材による
約0.01~100μm

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