全面厚さ計(仮称)

全面厚さ計(仮称)

非接触式インライン全面厚さ計
製品全面の厚みをリアルタイムに100%計測

全面厚さ計(仮称)

説明

厚さ30um以下の透明な薄膜、塗膜を高精度に測定します。
基材が透明でない素材でも、上層や塗工層の測定が可能な場合があります。
紙や金属など、表面が粗い基材の場合には、上層や塗工層でも測定ができません。

測定対象

ディスプレイ用フィルム、電子部材用フィルム、シリコンウェハー上膜、各種コーティングなど

特徴

全面インライン測定

  • 従来のトラバース方式では不可能であった、製品全面の厚さ測定による品質保証が可能です。

  • 検査装置では検出困難な欠点でも、厚さに起因するものであれば検知可能です。

  • スポット性、周期性の厚さ異常の検知も可能です。

世界最速の処理技術

  • FUTEC独自の高速処理により、インラインでのリアルタイム測定に適用できます。

多層測定に対応

  • 4層までの多層測定に対応しており、層毎の厚さを同時に測定できます。

安心・安全

  • 放射線を使用した厚さ計ではないため、管理者や管理資格が不要です。

仕様

測定ピッチ(幅) 標準 1.0mm
測定ピッチ(流れ) 1.0mm(搬送速度 18m/min時)
測定厚さ 30um以下(測定対象による)
最大測定層数 4層
測定精度 0.1 - 1.0%(測定対象による)
測定対象 透明な製品 (基材は不問)

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