
説明
厚さ30um以下の透明な薄膜、塗膜を高精度に測定します。
基材が透明でない素材でも、上層や塗工層を測定できる場合があります。
紙や金属など、表面が粗い基材の場合は、上層や塗工層でも測定できません。
測定対象
ディスプレイ用フィルム、電子部材用フィルム、シリコンウェハー上膜、各種コーティングなど
特徴
全面インライン測定
従来のトラバース方式では不可能だった製品全面の厚さ測定による品質保証が可能です。
検査装置では検出困難な欠点でも、厚さに起因するものであれば検知可能です。
スポット性、周期性の厚さ異常の検知も可能です。
世界最速の処理技術
FUTEC独自の高速処理によって、インラインでリアルタイム測定に適用できます。
多層測定に対応
4層までの多層測定に対応しており、各層の厚さを同時に測定できます。
安心・安全
放射線を使用した厚さ計ではないため、管理者や管理資格が不要です。
仕様
測定ピッチ(幅) | 標準 1.0mm |
---|---|
測定ピッチ(流れ) | 1.0mm(搬送速度 18m/min時) |
測定厚さ | 30um以下(測定対象による) |
最大測定層数 | 4層 |
測定精度 | 0.1 - 1.0%(測定対象による) |
測定対象 | 透明な製品 (基材は不問) |