ヒューテックは、2025年12月17日（水）～ 19日（金）の3日間、東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Japan 2025」に出展いたします！
今回の展示会ではウェハ搬送ロボットと連動した、全面膜厚測定のデモンストレーションを行います。

ウェハ搬送ロボット上での全面膜厚測定

通常、光学測定には2軸スライダーのような、専用の搬送機構が必要ですが、高精度ウェハ搬送ロボットとヒューテックのバタツキ対策技術を組み合わせることにより、汎用性の高い膜厚測定システムを実現しました。
半導体工場内に多数存在する、ウェハ搬送ロボットの全てが測定装置になる可能性を秘めた展示となっています。

SEMICON Japan 2024の様子

他にも昨年も好評いただいた、オフライン膜厚測定装置も展示予定です。こちらも研究開発用途などにご好評を頂いております。
最新の技術を体験し、皆様の研究開発や生産プロセスに役立てて頂ける機会ですので、是非ヒューテックのブースにお越しください！
スタッフ一同、心よりお待ちしております！

出展概要

SEMICON Japan 2025

会　　期：2025年12月17日 (水) ～ 12月19日 (金)
開催時間：午前10時～午後5時
会　　場：東京ビッグサイト
小　　間：西ホール1階　W1563
　　　　　Metrology & Inspection Summit内
製品情報：出展製品