ヒューテックは、2023年12月13日(水)から15日(金)の3日間、東京ビッグサイトで開催される『SEMICON Japan 2023』に出展いたします。

今展では、新製品「全面膜厚測定ユニット」のデモ機を展示いたします！

全面膜厚測定ユニットは、シリコンウェハやガラスなどの表面に形成された薄膜の厚さを、半導体装置内でIn-situかつ全数、全面で測定できる装置です。

当装置は、ウェハ全面の膜厚を秒間30万点で測定します。同時に膜厚の詳細なモニタリングやそれを活用したプロセスフィードバック、局所的な膜厚異常の検出も可能です。
スタッフ一同お待ちしておりますので、ぜひ、弊社のブースへお立ち寄りください！

出展概要
SEMICON Japan 2023
会　　期：2023年12月13日(水) ～ 12月15日(金)
開催時間：午前10時 ～ 午後5時
会　　場：東京ビッグサイト
小　　間：東7ホール　7514
製品情報：出展製品

出展内容
全面膜厚測定ユニット：シリコンウェハやガラスなどの表面に形成された薄膜の厚さを、半導体装置内でIn-situかつ全数、全面で測定することが可能 NEW!