薄膜に特化した高精度測定

光の干渉現象を利用することで、従来のX線透過方式では困難であった高精度な薄膜の膜厚測定を実現しました。
1mmφのスポット径を備えた測定部が幅方向にトラバースし、幅方向1mm毎に測定します。

膜厚の解析法はカーブフィッティング法と FFT（高速フーリエ変換）法から素材に合わせて選択でき、高精度な測定が可能です。