2026.02.20 製品情報
【製品情報】高分解能検査装置 MaxEye.X Series
無地面検査装置の最上位ハイエンドモデル、MaxEye.X Series（MaxEye.X320／MaxEye.X640／MaxEye.X1280）をご紹介します。
■ はじめに
検査装置に求められる検出性能は年々向上しており、被検査材によっては顕微鏡レベルでの確認が必要なμm単位の欠点を、インラインで検出することが求められています。ヒューテックでは従来の装置で検出が難しかったμm単位の微細欠点に対応するため、超高速・高感度カメラを自社開発しました。このカメラを搭載した高分解能検査装置「MaxEye.X Series」を2017年より提供しています。
■ 超高速・高感度カメラを採用
MaxEye.X Series は超高速カメラを採用しており、駆動周波数は 1280MHz／640MHz／320MHz の3種類をラインナップしています。駆動周波数に応じて機種名が決まり、320MHz は「MaxEye.X320」、640MHz は「MaxEye.X640」、1280MHz は「MaxEye.X1280」となります。独自開発のデュアルラインセンサを採用しており、用途に応じてシングルライン／デュアルラインを選択できます。これにより高速駆動と高感度の両立を実現します。センサ画素数は4000／8000／16000をそろえ、従来機で困難だった微細欠点の検出に対応します。
■ 高速な画像転送
画像転送速度も大幅に向上しています。従来機の MaxEye.Impact が200枚/秒であったのに対し、MaxEye.X320／MaxEye.X640 は400枚/秒、MaxEye.X1280 は1000枚/秒の転送が可能です。高スペックカメラで取得される大量の欠点画像も安定して収集できます。
■ ディープラーニングとの高い親和性
ディープラーニングによる欠点分類では、高画質で視認性の高い画像と大量の学習データが精度向上の鍵となります。解像度が低く視認性の悪い画像を学習させると正答率が伸びないことがありますが、MaxEye.X Series は超高画質で微細な形状や濃淡の違いまで表現可能なため、ディープラーニングの学習データとして非常に有効です。学習モデルの精度向上に大きく寄与します。
ヒューテックのオプション製品「欠点弁別システム2」は、AI（ディープラーニング）を活用した高精度な欠点弁別機能を、検査装置と連携して提供する専用システムです。検査装置とセットでの運用に特化したシステムで、現在の品質管理の改善を検討されている方は、ぜひ「欠点弁別システム2」もあわせてご検討ください。
【製品情報】AI・ディープラーニングによる高精度欠点弁別 「欠点弁別システム2」
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■ まとめ
MaxEye.X Series は大量の微細欠点の検出に対応するハイエンドモデルで、厳しい品質管理基準にもお応えする高性能な装置です。検査装置の高分解能化にご関心のある方や、詳しい仕様・資料をご希望の方は、お気軽にお問い合わせください。
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